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白光干涉薄膜厚度測試儀，TF200根據(jù)反射回來的干涉光，用反復(fù)校準(zhǔn)的算法快速反演計(jì)算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm，可同時(shí)完成多層膜厚的測試。對(duì)于100nm以上的薄膜，還可以測量n和k值。